AMT深紫外皮秒激光器拥有世界领先的四倍频换点功能，能保证换点后光束质量、光斑大小、光束指向性不 变，提高机器稳定性。同时拥有全新设计的光学系统具有可靠的功率稳定性<3%，优越的光束质量（M²<1.3）

和卓越的光斑圆度（>90%）, 可输出深紫外波长266nm，功率最高可达3W以上，实现优异的激光微加工质量。

AMT-266皮秒激光器拥有自研高性能高可靠性的核心模块，如超快种子源、非线性晶体的高温加热炉等，保 证了整机系统的长期可靠性，实现单点寿命大于1000hrs，整机寿命大于20000hrs；拥有空气洁净系统，可

以对腔内进行清洁维护，延长晶体使用寿命。

AMT深紫外激光器支持多触发模式可选，具备同步输出功率，内置功率检查模块，是性能与稳定性的完美结 合。深紫外激光器广泛应用于蓝宝石GaN分离、无碳化冷加工、玻璃晶粒分离等领域。AMT-266-3W-70M激

光器主要应用于28nm及以下节点制程的芯片缺陷检测，也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子 材料切割和高密度信息存储等领域。